利用できる機器/委託

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東京エレクトロン RLSA 2B 43,112円 / 1 時間 65,112円 / 1 時間
東京エレクトロン Mark8 33,344円 / 1 時間 77,344円 / 1 時間
東京エレクトロン LT-PECVD 43,787円 / 1 時間 76,787円 / 1 時間
東京エレクトロン Formula 34,769円 / 1 時間 56,769円 / 1 時間
東京エレクトロン BEOL炉(α-8SE) 30,329円 / 1 時間 52,329円 / 1 時間
東京エレクトロン 22,770円 / 1 時間 55,770円 / 1 時間
東京インスツルメンツ 共焦点顕微レーザーラマン Nano finder TERS 9,190円 / 1 時間 -
東京インスツルメンツ ブロードバンドSFGフェムト秒二重共鳴(fs-SFG DR) 12,718円 / 1 時間 -
東京インスツルメンツ  NX-FLIM-TO3 4,706円 / 1 時間 -
最高ビームエネルギー:陽子・中性子70MeV及び重イオンビーム 75,626円 / 1 時間 -